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Optische Verfahren gestatten eine besonders präzise Wegmessung, bei der die Wellenlänge des Lichts selbst als grundlegender Streckenmaßstab angesetzt wird. Eine elegante Möglichkeit der Wegmessung ist z.B. über die ortsabhängige Intensität einer stehenden Welle (Stehende-Wellen-Interferometer) möglich.

Hier entwickelte das CiS Forschungsinstitutes Tandemdioden, die deutlich den Aufbau des bekannten Michelson-Interferometers vereinfachen, einem hochpräzisen Messverfahren zur Längen- und Positionsbestimmung bei Präzisionsmaschinen.

Den Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler aus dem CiS Forschungsinstitut gelang es, hierfür transparente Detektoren zu entwickeln, deren aktive Schichten aus dotiertem Silizium oder Polysilizium bestehen. Diese transparenten Fotodioden absorbieren nur einen sehr kleinen Teil des einfallenden Lichts in extrem dünnen Siliziumschichten. Der nicht absorbierte Teil des Lichts passiert den Detektor und kann für die sensorische Anwendung genutzt werden.

In einer Doppelkonfiguration (Tandem) werden zwei solcher teiltransparenten Dioden in einem mehrlagigen Chip mit hoher Abstandsgenauigkeit gestapelt. Damit wird es möglich, Stehende-Wellen-Interferometer mit direkter Auflösung der Bewegungsrichtung zu realisieren. Die sonst übliche Aufteilung in Referenz- und Probenstrahl über Strahlteiler wird überflüssig und das System kann deutlich einfacher und kompakter realisiert werden.