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MEMS-Wasserstoffsensor

Sep 30, 2025

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Materion hat im Jahr 2022 einen neuen, MEMS-basierten Wasserstoffsensor zum Patent angemeldet und inzwischen zur Marktreife gebracht. Der Sensor kann unter Standardbedingungen zur Raumüberwachung im Bereich der unteren Explosivschwelle oder zur Kontrolle von Prozessgasen bis 100 Vol% H2 in Gasgemischen eingesetzt werden. Er ermöglicht die selektive Messung von Wasserstoff in Gasgemischen, insbesondere weist er keine Querempfindlichkeiten zu Erdgas und darin enthaltenen Bestandteilen auf. Auf den Vorzügen der Si-Technologie beruhend kann der Sensor kostengünstig in großer Stückzahl hergestellt werden. Aktuell wird eine Prozessor-basierte Smart Variante des H2-MEMS-Sensors entwickelt, sodass der Sensor auch für industrielle Anwendungen bei wechselnden Temperaturen, Umgebungsdrücken und Feuchtigkeit eingesetzt werden kann.

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