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Drucksensor für Ultra-Höchstdruckanwendungen (DSNemo)

Apr 14, 2025

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Traditionell verwenden Drucksensoren eine Biegeplatte zur Vergrößerung der Empfindlichkeit. Für Ultra-Höchstdruck Anwendungen kann auf die Biegeplatte verzichtet werden. Für diesen Druckbereich wurde ein Sensor ohne Biegeplatte entwickelt. Dadurch wird ein wesentlich kleinerer Aufbau ermöglicht. Die erarbeitete Technologieplattform bietet folgende Potentiale: Frontplatte mit minimalem Durchmesser von 1 mm, Druckbereich bis ca. 20.000 bar, Messspanne von > 20 mV/V, maximale Einsatztemperatur von 200 °C, Einsatz piezoresistiver Si-Chips sowie Medienkontakt über Stahl.

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