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Ein mittelgroßes automatisiertes Parylene-Abscheidungssystem mit einem Reaktorvolumen von 300L, geeignet für die Beschichtung großer Chargen mit allen Parylene-Typen (N, C, VT4, AF4). Mit integriertem RF-Plasma zur Oberflächenreinigung und -aktivierung vor der Beschichtung sowie direkter Einspritzung eines Silan-Haftvermittlers. Das System kann auf PE-CVD aufgerüstet werden, um dichte keramische Beschichtungen bei niedrigen Temperaturen abzuscheiden.