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Es wurde eine neuartige Technologieplattform für frontbündige Hochdrucksensoren entwickelt, die für Anwendungen oberhalb von 70 MPa ausgelegt ist. Im Gegensatz zu bisher in diesem Druckbereich häufig eingesetzter Dünnschichttechnik auf Stahl ermöglicht der neue Ansatz einen frontbündigen Sensor mit konsequenter Trennung von medienberührter und elektrischer Seite. Dadurch eignet sich die Technologie besonders für anspruchsvolle Einsatzfelder mit hohen Druck-, Hygiene- und Temperaturanforderungen. Kern der Entwicklung sind piezoresistive Silizium-Dehnungsmessstreifen mit hohem K-Faktor, die mittels Glasfritt-Bonden auf der medienabgewandten Seite einer metallischen Druckmembran gefügt werden. Das Verfahren erzielt sehr gute Ergebnisse hinsichtlich Stabilität, Messgenauigkeit und Temperaturverhalten. Die Sensorarchitektur ist ölfrei, robust und mit verschiedenen metallischen Werkstoffen, insbesondere Edelstahl, realisierbar. Die dem Medium zugewandte Frontfläche ist mit unter 5 mm sehr klein und bündig ausgeführt. Neben dem Einsatz bei Temperaturen bis 200 °C bietet die Technologie auch Potenzial für sehr tiefe Temperaturen bis hin zur Lagerfähigkeit bei 20 Kelvin, was besonders für H2-Anwendungen relevant ist. Besondere Vorteile ergeben sich für hygienisch sensible Bereiche wie die Lebensmittel- und Pharmaindustrie, da der frontbündige Aufbau ohne komplexe Geometrien oder Hinterschneidungen auskommt. Weitere Einsatzfelder liegen in Wasserhöchstdruckstrahlen, Hydraulik, Maschinenbau, Metrologie und Prozesssteuerung.