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Beim Testen und Entwickeln von Mikrostrukturen wie MEMS-Bauelementen (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Topografiemessungen sowie die Visualisierung der Dynamik unerlässlich. Der MSA-600 Micro System Analyzer prüft Mikrosystemtechnik mit höchster Genauigkeit und lässt sich flexibel auf die Anforderungen und Prüfaufgaben moderner und zukünftiger Mikrostrukturen bis in den Frequenzbereich von 6 GHz anpassen. Das MSA-600 ist eine leistungsfähige Komplettlösung für Forschung, Entwicklung und Produktion. Kompatibel mit gängigen Probe Stations begleitet der Micro System Analyzer die Entwicklung der MEMS in jeder Phase – vom Design, über die Optimierung bis zur Qualitätssicherung in der Produktion.