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D.01.02.08.08 Microstructuring of silicon

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH 99099 Erfurt (Germany) Hall 1 1-501
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS 09126 Chemnitz (Germany) Hall 1 1-317
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM 79110 Freiburg (Germany) Hall 1 1-519
Hahn-Schickard 78052 Villingen-Schwenningen (Germany) Hall 1 1-350
iCampus-Cottbus
BTU Cottbus-Senftenberg 03046 Cottbus (Germany) Hall 1 1-317
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