Produkt-Neuheit
Drucksensor für Ultra-Höchstdruckanwendungen (DSNemo)
14.04.2025
Traditionell verwenden Drucksensoren eine Biegeplatte zur Vergrößerung der Empfindlichkeit. Für Ultra-Höchstdruck Anwendungen kann auf die Biegeplatte verzichtet werden. Für diesen Druckbereich wurde ein Sensor ohne Biegeplatte entwickelt. Dadurch wird ein wesentlich kleinerer Aufbau ermöglicht. Die erarbeitete Technologieplattform bietet folgende Potentiale: Frontplatte mit minimalem Durchmesser von 1 mm, Druckbereich bis ca. 20.000 bar, Messspanne von > 20 mV/V, maximale Einsatztemperatur von 200 °C, Einsatz piezoresistiver Si-Chips sowie Medienkontakt über Stahl.
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH