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ESCP-MIT1 - Mediumisolierte kapazitive MEMS-Druckmessumformer

14.02.2023

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ES Systems hat eine Reihe von medienisolierten Druckmessumformern entwickelt, die sich für Anwendungen mit rauen Umgebungsbedingungen eignen, bei denen Widerstandsfähigkeit gegen korrosive Flüssigkeiten oder Gase erforderlich ist. Jeder Sensor besteht aus einem kapazitiven MEMS-Drucksensorchip und einem CMOS-ASIC für die Signalverarbeitung. Die MEMS-Drucksensorchips basieren auf dem innovativen Mikrofabrikationsprozess für kapazitive Siliziumsensoren von ES Systems.
Die kapazitiven Drucksensorchips ESCP-MIT1, die in die medienisolierten Drucksystemen integriert sind, bieten höchste Genauigkeit und Auflösung, ausgezeichnete Langzeitstabilität in Verbindung mit sehr guter Wiederholbarkeit und Hysterese. Der Gesamtfehler einschließlich thermischen Verschiebungen liegt unter ±0,25% FS.
Der ESCP-MIT1 ist eine Familie von Hochleistungs-Druckmessumformern aus Edelstahl 316L. Jeder Umformer besteht aus einem ESCP-MIS1-Sensor, der mit einem O-Ring am Gehäuse befestigt ist. Die Druckmessumformer sind mit verschiedenen pneumatischen Standardanschlüssen sowie auf Anfrage auch mit benutzerdefinierten Anschlüssen erhältlich .
Die elektrische Schnittstelle kann analog (4-20 mA, 0-10 V) oder digital (I2C) sein. Die Sensoren können kalibriert und kompensiert für verschiedene Temperatur- und Druckbereiche von 1 bar bis 400 bar geliefert werden. Benutzerdefinierte Konfigurationen mit einer Vielzahl von pneumatischen Schnittstellen, Hastelloy- oder Titanmaterialien und Ausgangsschnittstellen sind auf Anfrage erhältlich.

Spezifikationen:
Drucktyp: Absolut, Relativ
Druckbereich: Bis 400 bar
Stromversorgung: +8 V ... +32 V
Gesamtfehler: < ±0,25% FS
Betriebstemperatur: -20 °C ... +85 °C
Kompensationstemperatur: 0 °C ... +60 °C, -20 °C ... +85 °C
Digitaler Ausgang: Kalibrierter Druck und Temperatur
Analoger Ausgang: Kalibrierter Druck
Ausgang: 4-20 mA, 0-10 V, I2C
Überdrucktoleranz: Bis zu 100x
Medienverträglichkeit: Gase, Flüssigkeiten
Materialoptionen: Edelstahl 316L, Hastelloy, Titan
Anschlussart: M12, ISO4400, Kabel
Pneumatische Schnittstelle: G1/2'', G1/4'', 1/2''NPT, 1/4'' NPT

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