Produkt-Neuheit
Hochdrucksensor mit frontbündigem Medienanschluss (DS300MPa)
14.04.2025
Für Hochdruckanwendungen über 70 MPa wird überwiegend Dünnschichttechnik auf Stahl verwendet. Sensoren mit frontbündigem Medienanschluss sind mit dieser Technologie nur mit großem Aufwand zu realisieren. Daher wurde eine Technologie für einen Sensor mit frontbündigem Medienanschluss mit strikter Trennung zur elektrischen Seite entwickelt.
Die erarbeitete Technologieplattform bietet folgende Potentiale: Entwicklung kundenspezifischer Drucksensorelemente, Verwendung piezoresistiver Si-Chips (hoher K-Faktor, ca. 80), Verwendung verschiedener metallischer Werkstoffe als Verformungskörper möglich, u.a. Stahl, Realisierung einer kleinen bündige Frontfläche < 5 mm, die dem Medium zugewandt ist, Temperaturbereich bis 200 °C sowie Druckbereich > 700 bar.
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH