Produkt-Neuheit

Die von Angst + Pfister entwickelte PFLOW2008-Serie thermisch-kalorimetrischer MEMS Massendurchflusssensoren setzt neue Massstäbe in Geschwindigkeit, Präzision und Vielseitigkeit. Mit Messbereichen von 30 sccm bis 6 SLPM, einer Ansprechzeit von nur 1 ms (PFLOW2008N) und einem dynamischen Bereich von 100:1 deckt die Serie mit drei Varianten praktisch jede Applikation ab, vom Lecktest bis zur schnellen Prozessregelung.
Damit ist der PFLOW2008 das ideale Produkt für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterfertigung, etwa beim Die- und Wire-Bonding, wo höchste Dynamik gefordert ist. Mit dem medizinverträglichen Gehäuse aus Polyphenylensulfid, einem maximalen Druck von 5 bar und einem integrierten Druckausgleicher gegen Höhenfehler ist die Serie auch für Beatmungsgeräte, analytische Instrumente und industrielle Automation genau das richtige Produkt. Der neue PFLOW2008 mit MEMS-Chip der 4. Generation und Thermal-D Technologie erweitert das Portfolio um Volumenströme bis 6 SLPM bei einem Temperaturkoeffizienten von <±0,08 %/°C.
Das Team von Angst + Pfister unterstützt Sie gerne bei der Entwicklung des Sensors für Ihre Anwendung.