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ESCP-MIS1 - Medienisolierte kapazitive MEMS-Drucksensoren

14.02.2023

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ES Systems hat eine Reihe von medienisolierten Drucksensoren entwickelt, die sich für Anwendungen mit rauen Umgebungsbedingungen eignen, bei denen eine Widerstandsfähigkeit gegen korrosive Flüssigkeiten oder Gase erforderlich ist. Jeder Sensor besteht aus einem kapazitiven MEMS-Drucksensorchip und einem CMOS-ASIC für die Signalkonditionierung. Die MEMS-Drucksensorchips werden von dem innovativen Mikrofabrikationsprozess für kapazitive Siliziumsensoren von ES Systems unterstützt.

Die kapazitiven Drucksensorchips, die in die medienisolierten Drucksysteme integriert sind, bieten modernste Standards an Genauigkeit und Auflösung, ausgezeichnete Langzeitstabilität in Verbindung mit sehr hoher Wiederholbarkeit und Hysterese. Der Gesamtfehler einschließlich thermischer Verschiebung liegt unter ±0,25 % FS.

Das ESCP-MIS1 ist eine Familie von Drucksensoren mit dem Qualitätsstandard Ø19 Edelstahlkapsel 316L. Bei diesem Sensortyp wird der Druck hydraulisch auf das hermetisch dichte Sensorelement mittels jenes Öls übertragen, mit dem der Hohlraum zwischen dem Sensorelement und der Edelstahlmembran gefüllt ist. Die Schnittstelle der Druckkapsel ist entweder I2C, SPI oder analog. Die Sensoren werden kalibriert und kompensiert für verschiedene Temperatur- und Druckbereiche von 10 bar bis 350 bar geliefert. Benutzerspezifische Materialien wie Hastelloy oder Titan sind auf Anfrage erhältlich.

Spezifikationen:
Drucktyp: Absolut
Druckbereich: Bis 350 bar
Stromversorgung: +3,1 bis 5,5 V
Stromverbrauch, Vollbetrieb: < 2,3 mA
Gesamtfehler: < ±0,25 % FS
Betriebstemperatur: -40 °C ... +125 °C
Kompensationstemperatur: 0 °C ... +60 °C, -20 °C ... +85 °C, -40 °C... +125 °C
Digitaler Ausgang: Kalibrierter Druck und Temperatur
Analoger Ausgang: Kalibrierter Druck
Ausgang: I2C, SPI, Analog 0,5 bis 2,5 V
Überdrucktoleranz: Bis zu 100x
Medienverträglichkeit: Gase, Flüssigkeiten
Materialoptionen: Edelstahl 316L, Hastelloy, Titan

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