Produktgruppe

D.01.02.08.08 Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH 99099 Erfurt (Deutschland) Halle 1 1-501
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS 09126 Chemnitz (Deutschland) Halle 1 1-317/3
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM 79110 Freiburg (Deutschland) Halle 1 1-317/6
Hahn-Schickard 78052 Villingen-Schwenningen (Deutschland) Halle 1 1-353
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