Produktneuheiten

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
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Halle: 1
Stand: 1-150/4

Scanning Mirror Mikrospektrometer (SMMS)

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Kompakte und ultrakompakte Nahinfrarot (NIR)-Spektralanalysesysteme für die Integration in tragbare Geräte oder sogar Mobiltelefone können einen wichtigen Beitrag für die Entwicklung zukünftiger optischer Messsysteme bilden. Neben der reinen Baugröße sind mittlerweile technologische Aspekte für die Herstellbarkeit in großen Stückzahlen relevant. Einfache Basiskomponenten und niedrige Anforderungen an die Elektronik,Aufbau- und Verbindungstechnologie und Systemintegration leisten wichtige Beiträge für konkurrenzfähige Herstellungskosten.

Das Scanning Mirror Mikrospektrometer (SMMS) nutzt als Kernstück einen einfachen 1D-MEMS-Scannerspiegel, der ein feststehendes Gitter beleuchtet. Das spektral aufgespaltene Licht eines schmalen Wellenlängenintervalls fällt auf den Spiegel zurück und dann über die Refokussieroptik und den Austrittsspalt auf einen oder mehrere Detektoren. Der Vorteil hierbei ist, dass die halbe Auslenkung des Spiegels pro Wellenlängenintervall ausreicht. Entweder kann mit weniger Auslenkung der gleiche Spektralbereich oder mit gleicher Auslenkung der doppelte Bereich erfasst werden. Das Ätzen des Gitters im MEMS-Prozess entfällt. Das ins System eingebrachte Gitter kann einfacher ausgetauscht werden und erlaubt hierdurch Modularität beim Spektralbereich, der Auflösung oder des Blazewinkels des Gitters.
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