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Halle: 1
Stand: 1-347

MSA-650 IRIS - Micro System Analyzer - Optische Charakterisierung der Dynamik Si-verkapselter MEMS

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Die Charakterisierung der Bauteildynamik von MEMS mittels Messung und Visualisierung des mechanischen Verhaltens gibt entscheidenden Einblick für die Produktentwicklung, die Fehlersuche sowie die Validierung von FE-Modellen. MSA Micro System Analyzer von Polytec sind dafür konzipiert schnell, hochgenau und optisch - also berührungsfrei die Out-of-Plane (OOP) und In-Plane Bewegung (IP) zu messen. Bislang war dies auf unverpackte, optisch zugängliche Mikrostrukturen beschränkt. Der Polytec MSA-650 IRIS Micro System Anlayzer ermöglicht nun sogar Messungen direkt durch die intakte Siliziumverkapselung hindurch wie z.B. bei verkapselten Intertialsensoren, MEMS-Mikrofonen, Drucksensoren und Weiteren.
Klare Trennung einzelner MEMS-Bauteilebenen
Die vollumfassende optische Messlösung MSA-650 IRIS besteht aus Controller inkl. Funktionsgenerator mit zusätzlichen Referenzkanälen, einer leistungsstarken optischen PSV Scanning Software und einem patentierten Sensorkopf mit IR-optischen Design. Dank seiner IR-Kamera und einer kurzkohärenten SLD-Lichtquelle ist es das erste Schwingungsmessgerät, das ganze Bauteilschichten vollflächig durch Siliziumkappen hindurch und unter Betriebsbedingungen erfasst. Diese patentierte Interferometer-Technologie liefert hervorragende Datenqualität aufgrund der klaren Trennung der einzelnen Bauteilschichten.

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