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Halle: 1
Stand: 1-347

MSA-600 Micro System Analyzer - 3D Dynamik und Topografie von Mikrosystemen und MEMS messen

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Beim Testen und Entwickeln von Mikrostrukturen wie MEMS-Bauelementen (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Topografiemessungen sowie die Visualisierung der Dynamik unerlässlich – ob zur Validierung von FE-Berechnungen, um Übersprecheffekte zu ermitteln oder um Oberflächenverformungen sichtbar zu machen. Der MSA-600 Micro System Analyzer als all-in-one optische Messstation charakterisiert sowohl die Topografie als auch in-plane und out-of-plane Bauteilbewegungen.
Die Varianten MSA-600-M/V decken Frequenzbereiche bis zu 25 MHz ab - ideal geeignet für MEMS wie MEMS-Mikrofone und andere Mikrosysteme. Die Varianten MSA-600-X/U decken den hohen und sehr hohen Frequenzbereich bis 2,5 GHz ab - perfekt zur Validierung von HF-MEMS-Resonatoren, mikroakustischen Filtern wie SAW-Filter, BAW-Filter und mehr.
Neu: Schwingungen bis 2,5GHz
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