Produktneuheiten

Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
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13355 Berlin (Deutschland)
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Mitaussteller von Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Zentralverwaltung

Ultradünner Mikrosensor für Schwingungsmessung

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In the wind tunnel exhibit, we present the thin-film multilayer technology on glass substrates. According to here it is possible that
20 ?m thin silicon pressure and acceleration sensors are embedded in polymer/copper multilayer structures. The ultra-thin microsensor for vibration measurement is thus
Part of an accelerometer located in a flexible zone for detecting vibrations. Special highlight of the demonstrator: The
Frequency sensitivity can be individually adjusted.

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