Produktneuheiten

Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
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Mitaussteller von Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Zentralverwaltung

Ultradünner Mikrosensor für Schwingungsmessung

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In dem Exponat des Windkanals stellen wir die Dünnfilm-Mehrschicht-Technologie auf Glassubstraten dar. Hier nach ist es möglich, dass
20 ?m dünne Silizium-Druck- und Beschleunigungssensoren in Polymer/Kupfer-Mehrschichtaufbauten eingebettet werden. Der ultradünne Mikrosensor für die Schwingungsmessung ist damit
Teil eines Beschleunigungssensors, der sich in einer flexiblen Zone zur Erkennung von Vibrationen befindet. Besonderes Highlight des Demonstrators: Die
Frequenzempfindlichkeit kann individuell eingestellt werden.

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