Ausstellerdetails

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden (Deutschland)
Tel: +49 351 8823-0
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info@ipms.fraunhofer.de

Mitaussteller von Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Zentralverwaltung

Katalogeintrag
Reinraum-Technologieentwicklung für MEMS/MOEMS - Fertigungstechnologien, Charakterisierung, Pilotfertigung, Foundry Services.

Product group(s)

S.01.01.08
Position (2D/3D)
S.01.02.04
Druck, absolut
S.01.02.09
Druck, Differenz – Messfehler < 0,1 %
S.01.03.18
Volumendurchfluss, Volumenstrom in Gasen
S.01.06.14
Spektralverteilung
S.01.07.05
Ultraschall
S.02.04
Piezoresistives Sensorelement
S.02.25
Optoelektronisches Sensorelement
S.02.36
ISFET Sensorelement
S.03.44.07
Elektrostatischer Aktor
M.01
Telemetriesystem und -komponente
D.01.02.04.08
Optische Messgröße
D.01.02.05.01
Positionieranwendung
D.01.02.07.09
Mixed-Signal ASIC
D.01.02.08.02
Dünnschichttechnologie
D.01.02.08.08
Mikrostrukturierung auf bzw. von Silizium
D.01.02.08.17
Mikrooptik, integrierte Optik
D.01.03.01
Prozess- und Technologiesimulation

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