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Innovative Sensor Technology IST AG
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9642 Ebnat-Kappel (Schweiz)
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Silizium Strömungssensor SFS01

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Die Innovative Sensor Technology IST AG entwickelt thermische Massenflusssensoren und bietet Lösungen für ein
breites Anwendungsspektrum im Strömungsbereich an. Oft werden am Markt vollständige Module mit integriertem
Strömungskanal und passivem oder aktivem Ausgang angeboten. Diese Systeme eignen sich für viele allgemeine
Anwendungen, für preissensitive oder platzlimitierte Anwendungen sind sie jedoch meistens nicht geeignet. Die
Strömungssensoren der IST AG bilden als reines Sensorelement die Basis für viele kundenspezifische Anwendungen
und ermöglichen eine anwendungsgerechte und individuell abgestimmte Integration.
Der Silicon Flow Sensor, kurz SFS, ist der erste Strömungssensor der IST AG, welcher auf Siliziumtechnologie basiert.
Mit dem SFS01 kann die Strömung nicht nur quantitativ, sondern auch qualitativ (Strömungsrichtung) bestimmt
werden. Dies ist durch das kalorimetrische Messprinzip möglich, mit dem der SFS im Allgemeinen betrieben wird.
Das kalorimetrische Messprinzip (Details siehe Abschnitt 2.4) basiert auf einem Heizer und zwei benachbarten Temperatursensoren.
Der Heizer generiert eine Wärmewolke im Strömungsmedium. Die Ausdehnung und die Orientierung
der Wärmewolke werden durch die Stärke und Richtung der Strömung sowie die Zusammensetzung des
Gases definiert. Die Orientierung der Wärmewolke resultiert in einem Temperaturunterschied zwischen den beiden
Temperatursensoren. Durch das Messen dieser Temperaturdifferenz wird die Strömungsstärke und Strömungsrichtung
bestimmt.
Das symmetrische Design des SFS01 erlaubt eine einfache Interpretation und Auswertung des Messsignals. Der
Sensor kann für verschiedene Gase benutzt werden. Im Weiteren zeichnet sich der SFS durch eine grosse Messdynamik,
eine hohe Sensitivität und eine sehr schnelle Ansprechzeit aus. Ein gutes Design der Kanalgeometrie ermöglicht
es, dass die Performance des Sensors bestmöglich auf die gewünschte Anwendung abgestimmt wird. Der
SFS Strömungssensor ist optimal für platzlimitierte Anwendungen geeignet, kann aber auch einfach zu vollständigen
«ready-to-use»-Systemen aufgerüstet werden. Die IST AG bietet von der Unterstützung bei der kundenseitigen
Systemintegration über vorkonfektionierte, kundenspezifische Teillösungen bis hin zu einer auf die Kundenanwendung
ausgerichteten Komplettlösung die volle Bandbreite der Zusammenarbeit an.

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