Product news

Durchflussmessung auf Basis kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler

Miniaturisierte, siliziumbasierte, kapazitive Ultraschallwandler (CMUT) lassen sich im industriellen Maßstab zur Durchflussmessung von Flüssigkeiten kostengünstig einsetzen. Sie können in unterschiedlichen Designkonfigurationen in Siliziumtechnologie hergestellt werden und ermöglichen das Senden und Empfangen von Ultraschallwellen verschiedenster Frequenzbereiche. Damit lässt sich ein breites Spektrum an Durchflussraten von Flüssigkeiten in Rohren erfassen.
Die CMUTs sind stark miniaturisiert und können mit einer Ansteuerelektronik kombiniert werden. Im Gegensatz zu herkömmlichen Piezokeramik-basierten Ultraschallwandlern haben CMUTs eine große Bandbreite sowie eine niedrige akustische Impedanz. Außerdem ist die Leistungsfähigkeit der CMUTs im Vergleich zu piezobasierten Ultraschallwandlern weniger von der Umgebungstemperatur abhängig.
Sie lassen sich für unterschiedliche Anwendungsbereiche z.B. in der chemischen Industrie oder in Klima- und Lüftungsanlagen adaptieren.