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ES Systems hat eine Reihe von platinenmontierbaren Drucksensoren für eine Vielzahl von Märkten entwickelt, die eine hohe Auflösung und Genauigkeit für Absolut-, Relativ- oder Differenzdruckmessungen erfordern. Der ESCP-BMS1 ist ein kapazitiver MEMS-Drucksensor mit modernster Leistungsfähigkeit. Der MEMS-Drucksensorchip basiert auf der innovativen SOI-Oberflächen-Mikrobearbeitungstechnologie von ES Systems.
Der ESCP-BMS1 ist ein Absolut-, Relativ- oder Differenzdrucksensor mit ultrahoher Auflösung und analoger SPI- oder I2C-Schnittstelle. Der Ausgang ist vollständig kalibriert sowie temperaturkompensiert und basiert auf dem internen Temperatursensor und den werkseitig vorkalibrierten Koeffizienten, die im integrierten Speicher abgelegt sind. Der Sensor kann ohne weitere Bearbeitung direkt in das Endsystem eingebaut werden. Der Gesamtfehler einschließlich Wiederholbarkeit, Hysterese, Nichtlinearität, thermischer Verschiebung und Kalibrierungsfehler zwischen 0 °C und 60 °C beträgt weniger als 0,25% FS.
Es sind verschiedene Stromversorgungsmodi verfügbar, die einen energiesparenden Betrieb ermöglichen. Der Sensor kann so konfiguriert werden, dass er sowohl 32-Bit-Druck- als auch Temperaturausgänge in hoher Genauigkeit liefert.
ESCP-BMS1 ist ein kapazitiver Silizium-Drucksensor mit ausgezeichneter Langzeitstabilität. Der Sensor ist in einem standardmäßigen 8-Pin-DIP-Gehäuse mit einem oder zwei pneumatischen Anschlüssen untergebracht. Der obere Anschluss ist der High-Side-Anschluss, der untere der Low-Side-Anschluss.

Spezifikationen:
Drucktyp: Absolut, Relativ, Differenzdruck
Druckbereich Absolutdruck: 200 mbar ... 10 bar
Druckbereich Relativdruck: 0 bar ... 11 bar
Druckbereich Differenzdruck: ±10 mbar ... ±1 bar
Stromversorgung: 3,3 V
Stromverbrauch, Vollbetrieb: < 1 mA
Genauigkeit: ±0,15 % FSS
Gesamtfehlerbereich: ±0,25 % FSS
Betriebstemperatur: -20 °C ... +85 °C
Kompensationstemperatur: 0 °C ... +60 °C, -20 °C ... +85 °C
Digitaler Ausgang: Kalibrierter Druck und Temperatur
Analoger Ausgang: Kalibrierter Druck
Überdrucktoleranz: Bis zu 100x
Medienverträglichkeit: Gase