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STMicroelectronics-Familie von MEMS-Drucksensoren für industrielle Anwendungen

Jan 27, 2023

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Die ultrakompakten piezoresistiven Absolutdrucksensoren der ILPS22QS- und ILPS28QSW-Familie für industrielle Anwendungen arbeiten als Barometer mit digitalem I2C/SPI-Ausgang und unterstützen einen dualen Messbereichsendwert bis 4060 hPa. Die Variante ILPS28QSW wird in einem speziellen Gehäuse für wasserdichte Anwendungen geliefert.
Beide Sensortypen verfügen über einen analogen Eingang zur Erfassung von elektrostatischen Feldern in der Umgebung namens Qvar. Damit sind Messungen der Umgebungsbedingungen und auch die Erkennung von Flüssigkeiten möglich.
Diese neue Generation industrieller Drucksensoren ist ideal für die folgenden Anwendungsbereiche:

- Gaszähler und Heizkessel
- Überwachung von Wasserhähnen, Bewässerung und Warmwasserbereitung
- Pumpen und Schwimmbad-Reinigungsroboter
- Asset Tracking: Höhenmessung, Flugerkennung
- Überwachung von Heizungs-, Lüftungs- und Klimafiltern (HLK)
- Waschmaschinen und Staubsauger
- Gartengeräte wie Rasenmäher

Die wasserdichte ILPS28QSW-Version in einem keramischen LGA-Gehäuse mit Metallkappe ist für Bedingungen mit hohem Flüssigkeitsstand, z. B. in Rohren, erhältlich. Es wurde auch entwickelt und getestet, um korrosiven Substanzen wie n-Pentan in der Gasdosierung, bestimmten Kraftstoffen und anderen Chemikalien wie Chlor, Brom und Salzwasser zu widerstehen. Für industrielle Anwendungen ist ein Dichtungsmechanismus wie ein O-Ring erforderlich, um zu verhindern, dass Wasser oder andere Flüssigkeiten auf die Leiterplatte oder in andere Bereiche des Endprodukts gelangen. Diese Struktur ist so konzipiert und geprüft, dass sie einem Wasserdruck von bis zu 1 MPa standhält.

Der Hauptvorteil dieser neuen ST MEMS Drucksensoren ist das sehr niedrige Grundrauschen von bis zu 0,34 Pa, das hochpräzise Messungen von Druckänderungen gewährleistet. Die absolute Druckmessgenauigkeit liegt bei bis zu 0,5 hPa. Die ASIC-Komponenten verfügen über spezielle Funktionen und eine eingebettete Temperaturkompensation, um den Einfluss der Temperatur auf die Druckmessung zu minimieren. Die sehr geringe Stromaufnahme von 1,7 µA und die Versorgungsspannung von 1,8 V bis 3,6 V machen diese Geräte auch für batteriebetriebene Anwendungen sehr geeignet. Die Ausgangsdatenrate ist bis zu 200 Hz programmierbar. Der Betriebsbereich von -40 bis 105°C ist für industrielle Anwendungen geeignet. Der ILPS22QS-Sensor benötigt nur eine sehr kleine Grundfläche von 2x2 mm, während der ILPS28QSW in einem speziellen 2,8x2,8-mm-Gehäuse mit O-Ring-Anschluss geliefert wird.
Der elektrostatische Ladungssensor Qvar basiert auf elektrostatischer Induktion oder Ladungsübertragung anstelle von elektromagnetischen Effekten. Qvar ist ein elektrischer Potenzialmesskanal, der quasi-elektrostatische Potenzialänderungen messen kann.

STMicroelectronics ist ein führender Hersteller von Drucksensoren für Verbraucheranwendungen wie Mobiltelefone, Wearables und Smartwatches. Der ILPS22QS und der ILPS28QSW ermöglichen neue hochvolumige Anwendungen für Drucksensoren in industriellen Anwendungen und werden mit einer 10-Jahres-Langzeitverfügbarkeit geliefert, die eine langfristige Versorgung sicherstellt.

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