Produkt-Neuheit

Keramischer MEMS-Sensor für die Leckdetektion von brennbaren Gasen

26.04.2023

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Für eine schnelle Detektion von brennbaren Gasen in sauerstoffreichen Gasgemischen entwickelt das Fraunhofer IKTS einen Sensor, der auf einem mikro-elektro-mechanischen System (MEMS) basiert. Die Funktion dieses Sensors beruht dabei auf dem thermischen Ansprechverhalten einer dünnen beheizten keramischen Membran mit geringer thermischer Masse, welche mit einem gassensitiven katalytischen Werkstoff beschichtet ist. Dank der geringen Dicke der Membran, welche direkt in das LTCC-Gehäuse integriert ist, kann der Sensor mit geringstem Heizenergieverbrauch sowohl bei konstanter Betriebstemperatur als auch im Pulsbetrieb eingesetzt werden.

Winterbergstr. 28

01277 Dresden

Deutschland

+49 351 2553-7700

+49 351 2553-7600

https://www.ikts.fraunhofer.de

info@ikts.fraunhofer.de

Halle 1 Stand 1-513

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