Produkt-Neuheit
Keramischer MEMS-Sensor für die Leckdetektion von brennbaren Gasen
26.04.2023

Für eine schnelle Detektion von brennbaren Gasen in sauerstoffreichen Gasgemischen entwickelt das Fraunhofer IKTS einen Sensor, der auf einem mikro-elektro-mechanischen System (MEMS) basiert. Die Funktion dieses Sensors beruht dabei auf dem thermischen Ansprechverhalten einer dünnen beheizten keramischen Membran mit geringer thermischer Masse, welche mit einem gassensitiven katalytischen Werkstoff beschichtet ist. Dank der geringen Dicke der Membran, welche direkt in das LTCC-Gehäuse integriert ist, kann der Sensor mit geringstem Heizenergieverbrauch sowohl bei konstanter Betriebstemperatur als auch im Pulsbetrieb eingesetzt werden.
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien
und Systeme IKTS
